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超純水的電阻率可大于 18  M Ω .cm ，或接近 18.3  M Ω .cm 極限值。實驗室用超純水可以分為三個級別：一級水基本上不含有溶解或膠態離子雜質及有機物，它可用二級水經進一步處理而制得。二級水一般含有微量的無機、有機或膠態雜質。三級水適用一般實驗室實驗工作。

其具體分為：

1 、蒸餾水(Distilled Water )

實驗室常用的一種純水，雖設備便宜，但極其耗能和費水且速度慢，應用會逐漸減少。蒸餾水能去除自來水內大部分的污染物，但揮發性的雜質無法去除，如二氧化碳、氨、二氧化硅以及一些有機物。新鮮的蒸餾水是無菌的，但儲存后細菌易繁殖 ;此外，儲存的容器也很講究，若是非惰性的物質，離子和容器的塑形物質會析出造成二次污染。

2 、去離子水(Deionized Water )

應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細菌的繁殖。

3 、反滲水(Reverse osmosis Water)

其生成的原理是水分子在壓力的作用下，通過反滲透膜成為純水，水中的雜質被反滲透膜截留排出。反滲水克服了蒸餾水和去離子水的許多缺點，利用反滲透技術可以有效的去除水中的溶解鹽、膠體，細菌、病毒、細菌內毒素和大部分有機物等雜質，但不同廠家生產的反滲透膜對反滲水的質量影響很大。

4 、超純水(Ultra-pure grade water)

其標準是水電阻率為 18.2  M Ω .cm 。但超純水在 TOC 、細菌、內毒素等指標方面并不相同，要根據實驗的要求來確定，如細胞培養則對細菌和內毒素有要求，而HPLC則要求 TOC低。